四探針測(cè)試儀測(cè)量方法?
有多種類(lèi)型的四探針電阻率測(cè)試儀，例如高溫和室溫，并且不同的四探針電阻率測(cè)試儀為每種材料測(cè)量不同的參數(shù)。例如，高溫四探針電阻率測(cè)試儀可以測(cè)量硅和鍺單晶的電阻率，硅外延層，擴(kuò)散層和離子注入層的平方電阻，以及導(dǎo)電玻璃和其他導(dǎo)電材料的平方電阻，主要用于薄膜和片材的導(dǎo)電性能。四探針電阻率測(cè)試儀是關(guān)鍵的測(cè)量參數(shù)，它是半導(dǎo)體材料的電阻，電阻率和抗粘連性。
半導(dǎo)體電阻率測(cè)量方法?
測(cè)量半導(dǎo)體電阻率方法的測(cè)量方法主要根據(jù)摻雜水平的高低，半導(dǎo)體材料的電阻率可能很高。有多種因素會(huì)使測(cè)量這些材料的電阻率的任務(wù)復(fù)雜化，包括與材料實(shí)現(xiàn)良好接觸的問(wèn)題。特殊的探頭設(shè)計(jì)用于測(cè)量半導(dǎo)體晶片和半導(dǎo)體棒的電阻率。這些探頭通常由諸如鎢的硬質(zhì)金屬制成，并接地到探頭。在這種情況下，接觸電阻很高，必須使用四點(diǎn)共線(xiàn)探針或四線(xiàn)絕緣探針。兩個(gè)探針提供恒定電流，另外兩個(gè)探針測(cè)量整個(gè)樣品一部分的電壓降。您可以使用所測(cè)電阻的幾何尺寸來(lái)計(jì)算電阻率。盡管此度量看似簡(jiǎn)單，但仍有一些問(wèn)題需要注意。正確屏蔽探頭和測(cè)量導(dǎo)線(xiàn)非常重要，其原因有以下三個(gè)：
1、一個(gè)電路具有高阻抗，因此容易受到靜電干擾。
2、半導(dǎo)體材料觸點(diǎn)可對(duì)二極管效應(yīng)吸收的信號(hào)進(jìn)行整流，并將其顯示為直流偏移。
3、材料通常對(duì)光敏感。
